Abteilung IBN-PT (Nanostrukturen & Mikroelektronik)

Ansichten ISG-PT
Einige Geräte des IBN-PT

Forschungs- und Entwicklungsaufgaben:

  • Herstellung von optischen Masken für Strukturen bis zu 750 nm
  • Direktes Elektronenstrahlschreiben für Strukturen bis zu 25 nm
  • Strukturübertragung im Kontaktbelichter auf Wafer bis zu 150 mm Durchmesser 
  • Experimente zur Strukturierung mit verschiedenen Lacksystemen auf strukturierten Oberflächen

 

Anschrift Abteilungsleiter
Institut für Bio- und Nanosysteme (IBN)
Abteilung Prozesstechnologie (IBN-PT)
Forschungszentrum Jülich GmbH
D-52425 Jülich		 Prof. Andreas Offenhäusser
Tel.: ( 49) 24 61/61-2330
Fax: ( 49) 24 61/61-8733
letzte Änderung 17.06.2008 | | Ausdrucken